序號

名稱

數量

簡要技術需求

1

高純氣雜質分析色譜儀

1臺（套）

測量范圍：0-10ppm、LDL：10ppb、等離子發射色譜法，工作站內置集成在機箱內。

2

微量氧分析儀

1臺（套）

測量范圍：0-10,0-100ppm、最小檢測濃度：75ppt、電化學法。

3

便攜式微量水分分析儀

1臺（套）

測量范圍-110~20℃、精度:±1℃、介電常數法。

4

三參數紅外氣體分析儀

1臺（套）

量程范圍：CO 0-50，0-500PPM、CO2 0-50，0-500PPM、CH4 0-50，0-500PPM；紅外原理。

5

三參數紫外氣體分析儀

1臺（套）

量程：NO 0-200，0-4000PPM、NO2 0-200，0-4000PPM、SO2 0-200，0-4000PPM；紫外吸收光譜法原理。

6

28.3L標準塵埃粒子計數器

1臺（套）

尺寸范圍：0.3 - 10.0 μm、標準6通道：0.3, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0 μm、流量：1.0 CFM (28.3 升/分鐘)、激光源 ：長壽命激光二極管 15 年 MTTF。

7

2.83L標準塵埃粒子計數器

1臺（套）

尺寸范圍：0.2-2.0 m、標準6通道：0.2, 0.3, 0.5, 0.7, 1.0, 2.0 m、流量：0.1 CFM (2.83 升/分鐘)、激光源 ：長壽命激光二極管 15 年 MTTF。

8

100L標準塵埃粒子計數器

1臺（套）

尺寸范圍：0.5-10.0 μm、標準6通道：0.5, 0.7, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0 μm、流量：100升/分鐘、激光源：長壽命激光二極管15年MTTF。

9

50L標準塵埃粒子計數器

1臺（套）

尺寸范圍：0.5-25.0 μm、標準6通道：0.5, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0，25.0μm、流量：50.0L/MIN、激光源：長壽命激光二極管10年MTTF

10

實驗室濁度計

1臺（套）

測量范圍：0～1000 NTU、可重復性：讀數的± 1%或者0.01NTU，取大者、分辨率：在最低測量范圍時為0.01NTU。

11

氣相色譜儀（1#）

1臺（套）

最低檢測限：≤2.5 pg S/s，≤45 fg P/s，以甲基對硫磷為樣品測定。

12

氣相色譜儀（2#）

1臺（套）

最低檢測限：≤2.5 pg S/s，≤45 fg P/s，以甲基對硫磷為樣品測定。